■体裁:B5版263ページ
■発刊:1996/11/28
■ISBNコード:4-947655-94-1

【序文】
半導体製造での地震対策については、今日、それなりの効果を発揮していることは1987年の千葉県東方沖地震や1995年の兵庫県南部地震において、半導体クリーンルームで人身事故が発生していないことから推察できるから推察できる

【執筆者】
小波盛佳 日曹エンジニアリング/ 赤木久眞 NTTファシリティーズ/
橋本純二 トキコ/ 白浜昇 鈴商ガスエンジニアリング/
永井貞雄 鈴木商館/ 鈴木譲 鈴木商館/ 秋山重之 堀場製作所/
金子充宏 ジェック/ 橋本孝二 鈴木商館/
佐々木隆、小田博通、小林宏子、原田宙幸 神鋼パンテツク、三菱商事/
斉藤次男、志保谷孝雄 関東化学/ 小波盛佳、加地利光 日曹エンジニアリング/
三村義昭 日本電信電話/ 河合禎、大西豊一、吉備康浩 日新電機/
田中通洋、浅田敏勝 ミドリ安全、福井工業大学

※所属、肩書き等は本書発刊当時のものです。

【目次】
1.　半導体(IC)産業と地震対策
1.　半導体(IC)産業の特徴と地震対策
2.　電源OFF安全モード
2.1　電源スイッチに関する規格
2.2　「非常ボタン」に関する規格
2.3　ガス遮断に関する規格
2.4　警報信号等外部信号に関する規格
2.5　その他
2.6　「電源OFF安全モード」と地震対策
3.　半導体工場での災害事例と問題点
3.1　コンピュータ制御電気炉によるクリーンルーム火災
3.2　CVD排気ダクトからの出火によるクリーンルーム火災
3.3　可燃性有機薬液漏洩事故
3.4　漏洩ガス点検中の爆発による死亡事故
3.5　有毒ガス漏洩騒ぎ
4.　半導体工場での地震対策の考え方
4.1　地震対策の基本「避難優先」
4.2　安全に避難できるようにするための対策
4.3　付録　サイクルパージによるガス置換
5.　半導体製造クリーンルーム構成と避難通路の確保
6.　クリーンルームにおける入退室管理システム
6.1　入退室管理システムの概要
6.2　想定される被災状況
6.3　地震対策の基本的な要件
6.4　地震対策として具体的に必要な事項
6.5　将来の地震対策
2.　地震とその対策
1.　地震の発生危険度と地震動の特性
1.1　地震の発生原因
1.2　マグニチュードと震度階級
1.3　地震発生の危険度
1.4　地震波の性状
1.5　建物内の地震動
1.6　装置などの地震応答
2.　地震被害と地震対策
2.1　地震被害の様相
2.2　地震対策の目的および目標
2.3　耐震設計法
2.4　製造ライン耐震設計用地震力
2.5　鋼材などの許容応力度
2.6　アンカーボルトの種類と許容力
3.　装置類の耐震対策
3.1　装置類の製作・組立
3.2　装置類の据え付け工法
3.3　装置類のコンクリート床への固定工法
3.4　装置類の移動・転倒防止工法
3.5　二重床上の装置類の固定工法
3.6　装置類の壁・天井への支持工法
3.7　装置類の架台・基礎
4.　配管・ダクト類および建物等の耐震対策
4.1　配管類の耐震対策
4.2　ダクト類の耐震対策
4.3　薬品類の耐震対策
4.4　付帯設備などの耐震対策
4.5　二重床などの耐震強化
4.6　建物の耐震設計
5.　運用上での地震対策
5.1　感震器制御システム
5.2　点検・訓練など
3.　免震技術
1.　まえがき
2.　免震の原理
3.　免震技術の歴史
4.　免震装置の構成要素
5.　免震装置の使用例と効果
6.　今後の展望
4.　半導体用ガス供給設備と地震対策
1.　特殊材料ガス供給と地震対策
1.1　高圧ガス配管系の耐震対策概念
1.2　特殊ガス材料供給配管について
1.3　シリンダキャビネット設備
1.4　排ガス処理装置および排気配管
2.　集中ガス管理設備
2.1　ガス漏洩検知器設備
2.2　ガス集中管理システム(SER)
3.　安全確認型シリンダキャビネット設備
3.1　安全確認型C/Cの目的
3.2　安全確認型C/Cの構成
4.　緊急遮断機如能付高圧ガス容器用バルブACSV(Active　Cut　Sa
fety　Valve)
4.1　概要
4.2　特長
4.3　仕様・構造
4.4　ACSV確認試験レポート
5.　水素吸蔵合金を利用した水素ガス供給システム
5.1　水素吸蔵合金利用水素貯蔵輸送容器
5.2　国内における水素吸蔵合金水素供給システムの実用化例
5.3　水素吸蔵合金水素ガス供給システムを利用した非常用電源
5.4　水素吸蔵合金のセンサ利用としての可能性
6.　インラインガス濃度センサ
6.1　概要
6.2　測定原理
6.3　構造と機能
6.4　おわりに
7.　液化窒素供給システム
7.1　液化窒素物性
7.2　液化窒素供給システム
7.3　設計・施工
7.4　保守・管理
8.　兵庫県南部地震における高圧ガス設備被害状況
8.1　兵庫県南部地震被害(半導体製造工場以外の高圧ガス設備を含む)
9.　ガス耐震関連法規等
9.1　通商産業省令
9.2　通商産業省告示第515号『高圧ガス設備等耐震設計基準』(S56.10.
26)
9.3　指針『高圧ガス設備等耐震設計指針』(高圧ガス保安協会S62.7月発行)
5.　水素・酸素ガス供給のオンサイトプラント化
1.　水素・酸素ガス供給のオンサイト化による地震対策
2.　純水直接電気分解による水素・酸素発生装置
2.1　ガス発生の基本原理
2.2　装置の形式
2.3　性能
2.4　特長
3.　ガス局所供給設備
3.1　フローシート
3.2　仕様
3.3　特長
4.　ガス局所供給実装置
4.1　仕様
4.2　設置条件
4.3　運転操作
4.4　メンテナンス
4.5　安全
5.　ガス集中供給設備
5.1　フローシート
5.2　仕様
5.3　特長
6.　半導体工場のガス供給のオンサイトプラント化の提案例
6.1　オンサイトプラントのフロー例
6.2　仕様
6.3　設置条件
6.4　運転操作
6.5　メンテナンス
6.6　安全
6.7　おわりに
6.　薬品自動供給装置と地震対策
1.　薬品運搬容器
1.1　容器の種類
1.2　ハンドリング容器の取り扱いと安全対策および地震対策
1.3　薬品自動供給装置に使用されている容器の取り扱いと安全対策および地震対策
2.　薬品自動供給装置
2.1　薬品自動供給装置の種類
2.2　薬品自動供給装置の材質
2.3　薬品自動供給装置の安全対策および地震対策
3.　サプライルーム
3.1　装置を設置する場所
3.2　安全対策および地震対策
4.　配管
4.1　配管方法と種類
4.2　分岐方法
4.3　生産設備との接続方法
4.4　サポート
5.　その他
5.1　設備の緊急停止
5.2　設備の復帰
6.　総括
7.　洗浄装置と地震対策
1.　地震による事象と損害
2.　洗浄装置における個別の課題
2.1　装置に用いられる材料
2.2　装置の構造体および部品の損壊防止
2.3　取付部品の脱落・落下
2.4　装置の位置ずれ・転倒
2.5　配管系の損壊
2.6　電気計装系の故障対策
3.　薬液循環濾過装置と地震対策
4.　洗浄装置用排ガススクラッバと地震対策
4.1　ガススクラッバの概要
4.2　地震対策
5.　今後の動向と対策
8.　リソグラフィ装置と地震対策
1.　LSI製造におけるリソグラフィ技術の概要とライン構成
2.　ステッパの構造と主要性能
3.　コータ/デベロッパの構造と主要性能
4.　その他の主要関連装置
5.　環境制御ならびに安全対策・地震対策
5.1　ステッパ
5.2　コータ/デベロッパ
5.3　その他の装置
9.　イオン注入装置と地震対策
1.はじめに
2.イオン注入装置の概要
2.1　イオン注入装置の種類
2.2　イオン注入装置の構造・構成
2.3　地震災害の観点から見たイオン注入装置
3.イオン注入装置の地震対策
3.1　耐震設計
3.2　電気系統の対策
3.3　火災対策-不燃化,　難燃化
3.4　有害ガス,　有害物質対策
3.5　制御システムへの配慮
4.災害復旧時の注意事項
5.おわりに
10.　防災対策用品
1.　はじめに
2.　クリーンルームの防災対策用品のあり方
3.　防災対策用品の常備の場所と常備品リスト
4.　保守管理
5.　クリーンルーム用防災対策用品の今後　-将来の方向性-
6.　まとめ　-防災管理と防災対策用品-
6.1　防災設備の基本
6.2　防災システム
11.　兵庫県南部地震報道等に見る半導体産業被害状況と地震対策問題点
1.　兵庫県南部地震の特徴
2.　半導体産業の被害状況と耐震対策